隨著測角儀、計數(shù)器、光譜室溫度穩(wěn)定等新技術(shù)的進步，使現(xiàn)代X射線熒光光譜儀的測量精密度與準確度有了較大改善。特別是人工合成多層膜晶體的開發(fā)應(yīng)用使輕元素鈹、硼、碳、氮、氧等的X射線熒光光譜分析分析成為可能，這類晶體是由低原子序數(shù)和高原子序數(shù)物質(zhì)以納米級厚度交替疊積而成，其層間厚度可以人工控制，如OVO－B晶體的間距為20納米，適用于硼和鈹?shù)姆治?。由于X射線管的功率增大，鈹窗減薄，X射線管與樣品的距離縮短，為輕元素分析配備了超粗準直器，降低了元素的檢出限，技術(shù)發(fā)展使現(xiàn)代X射線熒光光譜儀的檢測范圍可達到4Be(鈹)～92U(鈾)，對元素的檢測范圍為10-6%～100%。

　　

　　XRF光譜的優(yōu)點：

　　1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

　　

　　2、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定。

　　

　　3、非破壞分析。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。

　　

　　4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析。

　　

　　5、分析精密度高。

　　

　　6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。